Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungssystem
EP1906251
Art A1
2. April 2008
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1906251
- Aktenzeichen
- EP06020110
- Anmeldetag
- 26. September 2006
- Veröffentlichung
- 2. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ruff, Michael
Stuttgart, Deutschland
78
Patente gesamt
24
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB
Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB · Stuttgart
-
Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner
Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner · Stuttgart