Organosilanverbindungen zum Ändern der Ätz-Eigenschaften von Siliciumoxid- und Siliciumnitridfilmen
EP1928015
Art A3
13. August 2014
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1928015
- Aktenzeichen
- EP07121751
- Anmeldetag
- 28. November 2007
- Veröffentlichung
- 13. August 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/312H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
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