Katadioptrisches optisches System und katadioptrisches optisches Element

EP1936421 Art A1 25. Juni 2008

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1936421
Aktenzeichen: EP07018247
Anmeldetag: 18. September 2007
Veröffentlichung: 25. Juni 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08// G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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