Zyklische chemische Dampfphasenabscheidung von Metall-Silizium-haltigen Schichten
EP1939323
Art B1
23. April 2014
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1939323
- Aktenzeichen
- EP07123150
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2007
- Veröffentlichung
- 23. April 2014
- Erteilung
- 23. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34C23C16/40C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
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Weitere Vertreter
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