Zyklisches Auftragungsverfahren zum Auftragen eines Metallsiliziumnitridfilms
EP2009139
Art A1
31. Dezember 2008
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2009139
- Aktenzeichen
- EP08158575
- Anmeldetag
- 19. Juni 2008
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/34H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Air Products and Chemicals, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
1.683 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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