Katadioptrisches System für die Scatterometrie

EP2017662 Art B1 23. Juni 2021

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2017662
Aktenzeichen
EP08252443
Anmeldetag
17. Juli 2008
Veröffentlichung
23. Juni 2021
Erteilung
23. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02B17/08G02B17/04G01N21/47G02B27/00G02B21/04G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
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