Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit Pupillenspiegel Projektionsbelichtungsvorrichtung und -Verfahren

EP2052295 Art A1 29. April 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2052295
Aktenzeichen: EP07801596
Anmeldetag: 10. August 2007
Veröffentlichung: 29. April 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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