Lithographieverfahren und lithographische Vorrichtung
EP2073063
Art B1
2. März 2016
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands BV, ASML Holdings N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2073063
- Aktenzeichen
- EP08253937
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2008
- Veröffentlichung
- 2. März 2016
- Erteilung
- 2. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML Netherlands BV
ASML Holdings N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Weenink, Willem
NoneVeldhoven
-
van Os, Lodewijk Hubertus
NoneVeldhoven
-
Van den Hooven, Jan
NoneVeldhoven
-
Roberts, Peter David
NoneManchester