Vorrichtung und Verfahren zur Substratverarbeitung

EP2097790 Art A2 9. September 2009

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2097790
Aktenzeichen
EP07869445
Anmeldetag
18. Dezember 2007
Veröffentlichung
9. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20F16C39/06G01N21/95H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk
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29
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Hochbau & Gebäudetechnik Optik & Fototechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk

Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.

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