Mikromechanisches Bauteil mit einem Spiegel und dessen Herstellungsverfahren

EP2100848 Art A1 16. September 2009

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Technische Universität Chemnitz, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2100848
Aktenzeichen
EP08400007
Anmeldetag
11. März 2008
Veröffentlichung
16. September 2009
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Technische Universität Chemnitz
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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