Aminosilane für Filme zur flachen Grabenisolierung

EP2144279 Art A3 18. Juli 2012

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2144279
Aktenzeichen
EP09165101
Anmeldetag
9. Juli 2009
Veröffentlichung
18. Juli 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312H01L21/316C23C18/12C23C18/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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