Projektionsobjektiv mit Spiegelelementen mit Reflektierenden Beschichtungen

EP2191332 Art B1 29. Mai 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2191332
Aktenzeichen: EP07801766
Anmeldetag: 20. August 2007
Veröffentlichung: 29. Mai 2013
Erteilung: 29. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B17/06G21K1/06G02B13/14G02B5/08B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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