Systeme und Verfahren zum Erzeugen von Persistenten Daten für einen Wafer und zur Verwendung Persistenter Daten für Untersuchungsbezogene Funktionen
EP2195834
Art B1
24. Juni 2020
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2195834
- Aktenzeichen
- EP08831947
- Anmeldetag
- 22. September 2008
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2020
- Erteilung
- 24. Juni 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G06T1/20G06T7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk
Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.
422
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FRKelly
FRKelly · Dublin