Optisches Bildgebungssystem mit Katroptischem Objektiv, Breitbandobjektiv mit Spiegel sowie Brechungslinsen und Optisches Breitband-Bildgebungssystem mit Zwei oder Mehr Abbildungswegen

EP2203777 Art B1 5. Dezember 2018

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2203777
Aktenzeichen
EP08835721
Anmeldetag
1. Oktober 2008
Veröffentlichung
5. Dezember 2018
Erteilung
5. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
G02B27/00G02B17/06G02B21/04G02B17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk

Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.

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