Abscheidung einer dielektrischen Sperre mittels stickstoffhaltigem Vorläufer
Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2251899
- Aktenzeichen
- EP10162780
- Anmeldetag
- 13. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 28. März 2018
- Erteilung
- 28. März 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768C23C16/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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