Verfahren zur Prüfung einer Probe mit verschiedenen Prüfparametern
EP2256487
Art B1
6. November 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2256487
- Aktenzeichen
- EP10164279
- Anmeldetag
- 3. September 2004
- Veröffentlichung
- 6. November 2019
- Erteilung
- 6. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/88
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk
Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.
422
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
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FRKelly
FRKelly · Dublin
-
Lohr, Georg
NonePuchheim