Vorläufer für CVD-Siliziumcarbonitrid-Schichten

EP2278046 Art B1 30. Oktober 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2278046
Aktenzeichen
EP10181351
Anmeldetag
11. Mai 2006
Veröffentlichung
30. Oktober 2019
Erteilung
30. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/36C07F7/02C09D5/00H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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