Optisches Fourier-System, Beleuchtungssystem und Belichtungssystem der Mikrolithographie

EP2288963 Art B1 21. August 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2288963
Aktenzeichen: EP09741805
Anmeldetag: 17. April 2009
Veröffentlichung: 21. August 2013
Erteilung: 21. August 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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