Aufbringen Siliziumhaltiger Filme bei Niedrigen Temperaturen
EP2289093
Art B1
21. August 2013
Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc., Tokyo Electron Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2289093
- Aktenzeichen
- EP09759326
- Anmeldetag
- 3. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 21. August 2013
- Erteilung
- 21. August 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Air Products and Chemicals, Inc.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
-
Beck Greener
Beck Greener · London