Verfahren zur chemisch-mechanischen Planarisierung eines wolframhaltigen Substrats
Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc., DuPont Air Products NanoMaterials L.L.C. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2357059
- Aktenzeichen
- EP11154526
- Anmeldetag
- 15. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 4. August 2021
- Erteilung
- 4. August 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04C09G1/02H01L21/321
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
DuPont Air Products NanoMaterials L.L.C. - Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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