Verfahren zur chemisch-mechanischen Planarisierung eines wolframhaltigen Substrats

EP2357059 Art B1 4. August 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc., DuPont Air Products NanoMaterials L.L.C. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2357059
Aktenzeichen
EP11154526
Anmeldetag
15. Februar 2011
Veröffentlichung
4. August 2021
Erteilung
4. August 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
DuPont Air Products NanoMaterials L.L.C.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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