Verfahren zur Herstellung von siliciumhaltigen Schichten
EP2363512
Art A1
7. September 2011
Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2363512
- Aktenzeichen
- EP11153416
- Anmeldetag
- 4. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 7. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
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5
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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