Projektionsobjektiv mit hoher Transmission und hoher Apertur sowie Projektionsbelichtungsvorrichtung

EP2372404 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2372404
Aktenzeichen: EP11169144
Anmeldetag: 17. Oktober 2008
Veröffentlichung: 16. Januar 2013
Erteilung: 16. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G02B1/11G03F7/20G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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