Verfahren und System zur Erkennung von Defekten auf einem Fadenkreuz
EP2374148
Art A2
12. Oktober 2011
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2374148
- Aktenzeichen
- EP09831079
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2009
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Kancelaria Patentowa Lukaszyk
Gegründet 1992 in Chorzów bei Katowice, kurz nach Öffnung der privaten Anwaltstätigkeit in Polen. Verbindet juristische mit naturwissenschaftlich-technischer Expertise von Chemie und Pharmazie bis Gentechnik und Nanotechnologie und begleitet Patent- sowie internationale PCT- und EPA-Verfahren.
422
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
FRKelly
FRKelly · Dublin