Zylinderoberflächenbehandlung für Monochlorsilan

EP2395127 Art B1 23. Dezember 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2395127
Aktenzeichen
EP11169596
Anmeldetag
10. Juni 2011
Veröffentlichung
23. Dezember 2020
Erteilung
23. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F17C1/10C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Halbleiter & Elektrische Bauelemente Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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