Zylinderoberflächenbehandlung für Monochlorsilan

EP2395127 Art B1 23. Dezember 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2395127
Aktenzeichen
EP11169596
Anmeldetag
10. Juni 2011
Veröffentlichung
23. Dezember 2020
Erteilung
23. Dezember 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F17C1/10C23C16/448
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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