Wiedergewinnung von Xenon durch einen Adsorptionprozess
Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2436646
- Aktenzeichen
- EP11183540
- Anmeldetag
- 30. September 2011
- Veröffentlichung
- 2. November 2016
- Erteilung
- 2. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C01B23/00B01D53/047
Abstract
The present invention discloses the improvements to a vacuum swing adsorption (VSA) process used for Xe recovery. By only collecting the recovered gas mixture after the initial evacuation of N<2>from the adsorbent vessel and void space, the recovered Xe is not diluted by N<2>contained in the adsorbent vessel and void space. The concentration of the recovered Xe can by increased (high purity), simultaneously little Xenon is lost. During the initial evacuation of N<2>, the vessel has been evacuated to a pressure less than 1 atmospheric pressure (100 kPa), for example, from 100 to 1 torr (13000 to 130 Pa).
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
393 Patente in unserer Datenbank
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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