Verfahren zur Herstellung von Substratdurchkontaktierungen, die mit Isolationsgräben mit Luftspalt umgeben sind, sowie zugehöriges Bauelement
EP2463896
Art B1
15. April 2020
Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2463896
- Aktenzeichen
- EP11191050
- Anmeldetag
- 29. November 2011
- Veröffentlichung
- 15. April 2020
- Erteilung
- 15. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/764H01L21/768H01L23/48
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Fachgebiete
Vertreten von
Wauters, Davy Erik Angelo
Boortmeerbeek, Belgien
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25
Fachgebiete
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Winger
Winger · Boortmeerbeek