Messverfahren und Messgerät, Lithografisches Gerät, Lithografische Verarbeitungszelle und Substrat mit Messzielen
EP2470960
Art A1
4. Juli 2012
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2470960
- Aktenzeichen
- EP10740632
- Anmeldetag
- 5. August 2010
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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Weenink, Willem
NoneVeldhoven