Verfahren zur Herstellung von Siliziumoxidschichten aus Organoaminosilanvorläuferverbindungen
EP2562797
Art B1
29. August 2018
Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2562797
- Aktenzeichen
- EP12190450
- Anmeldetag
- 23. Mai 2007
- Veröffentlichung
- 29. August 2018
- Erteilung
- 29. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/40// H01L21/314H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Beck Greener LLP
Beck Greener LLP · London
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Beck Greener
Beck Greener · London