Optisch transparente und elektrisch leitfähige Beschichtungen und Verfahren zu ihrer Ablagerung auf einem Substrat
Anmelder: Fundació Institut de Ciències Fotòniques, Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇪🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2581789
- Aktenzeichen
- EP11185280
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 29. April 2020
- Erteilung
- 29. April 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/22G03F1/38
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Fundació Institut de Ciències Fotòniques
Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇪🇸 Spanien
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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Bardehle Pagenberg Partnerschaft mbB Patentanwälte Rechtsanwälte
Bardehle Pagenberg Partnerschaft mbB Patentanwälte Rechtsanwälte · München