Optisch transparente und elektrisch leitfähige Beschichtungen und Verfahren zu ihrer Ablagerung auf einem Substrat

EP2581789 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Fundació Institut de Ciències Fotòniques, Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats, Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2581789
Aktenzeichen
EP11185280
Anmeldetag
14. Oktober 2011
Veröffentlichung
29. April 2020
Erteilung
29. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/22G03F1/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fundació Institut de Ciències Fotòniques
Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH
Land
🇪🇸 Spanien
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Kanzlei
Bardehle Pagenberg Paris, Frankreich

Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.

11.203
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