Prüfsystem durch Strahl geladener Teilchen und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen unter Verwendung des Systems
EP2587515
Art A1
1. Mai 2013
Anmelder: EBARA CORPORATION, Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2587515
- Aktenzeichen
- EP13000328
- Anmeldetag
- 27. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/063H01J37/29H01L21/027H01L21/66G03F1/86
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Kabushiki Kaisha Toshiba - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
1.514 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
13.642 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Wagner & Geyer
München, Deutschland
Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.
12.074
Patente gesamt
6
Patentanwälte
1
Standorte