Katalysator und Formulierungen damit zur Hydrolysereaktion von Alkoxysilanen in Halbleiterverfahren
EP2618364
Art A2
24. Juli 2013
Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2618364
- Aktenzeichen
- EP13151735
- Anmeldetag
- 17. Januar 2013
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
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