Organoaminodisilan-Vorläufer und Verfahren zur Ablagerung von Schichten damit

EP2669248 Art B1 12. April 2017

Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2669248
Aktenzeichen
EP13170299
Anmeldetag
3. Juni 2013
Veröffentlichung
12. April 2017
Erteilung
12. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C01B33/04C07F7/02C07F7/10C23C16/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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