Verfahren zur Ablagerung von Silizium-enthaltenden Schichten mit Organoaminodisilan-Vorläufern
EP2669249
Art B1
20. Dezember 2017
Anmelder: Versum Materials US, LLC, AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2669249
- Aktenzeichen
- EP13170300
- Anmeldetag
- 3. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2017
- Erteilung
- 20. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/02H01L21/02C23C16/455C23C16/40C23C16/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Air Products
US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.
906 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Muir, Benjamin M. J
London, Großbritannien
219
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Beck Greener · London