Euv Spiegelanordnung, Optisches System mit einer Euv-Spiegelanordnung und Verfahren für die Bedienung eines Optischen Systems mit einer Euv-Spiegelanordnung

EP2689427 Art B1 3. Mai 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2689427
Aktenzeichen: EP12712999
Anmeldetag: 21. März 2012
Veröffentlichung: 3. Mai 2017
Erteilung: 3. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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