Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats mit einem Fokussierten Teilchenstrahl
EP2702603
Art B1
26. Juli 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2702603
- Aktenzeichen
- EP12718639
- Anmeldetag
- 26. April 2012
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2023
- Erteilung
- 26. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/304H01J37/305G03F1/74
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
11.203
Patente gesamt
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Patentanwälte
2
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Bardehle Pagenberg Partnerschaft mbB Patentanwälte Rechtsanwälte · München