Reinigung von Führungsrahmen zur Verbesserung eines Drahtbindungsverfahrens

EP2702607 Art A2 5. März 2014

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2702607
Aktenzeichen
EP12776905
Anmeldetag
25. April 2012
Veröffentlichung
5. März 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/48H01L21/60B08B3/08C11D3/20C11D7/26C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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