Verfahren zum Aktivieren einer porösen Schichtoberfläche

EP2884523 Art B1 5. Februar 2020

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2884523
Aktenzeichen
EP13197472
Anmeldetag
16. Dezember 2013
Veröffentlichung
5. Februar 2020
Erteilung
5. Februar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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  • Winger
    Winger · Boortmeerbeek

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