Speicherung und Subatmosphärische Abgabe von Zusammensetzungen zur Dotierung einer Kohlenstoffionenimplantation
EP2936540
Art B1
13. Februar 2019
Anmelder: Praxair Technology, Inc., Praxair Technology Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2936540
- Aktenzeichen
- EP13821337
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2019
- Erteilung
- 13. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C14/34F17C13/04H01J37/08H01J37/317C01B23/00F17C1/00H01J37/30
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Praxair Technology, Inc.
Praxair Technology Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Praxair Technology
US-amerikanisches Unternehmen im Bereich Industriegase, das Verfahren und Technologien zur Gasproduktion entwickelt, heute Teil des Linde-Konzerns.
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