Metallisierungsverfahren für Halbleiterstrukturen

EP3029724 Art B1 7. Juni 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3029724
Aktenzeichen
EP15183574
Anmeldetag
2. September 2015
Veröffentlichung
7. Juni 2017
Erteilung
7. Juni 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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