Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung und Regelung eines CO2-Verbundsprays

EP3151982 Art A2 12. April 2017

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Cleanlogix LLC 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3151982
Aktenzeichen: EP14837849
Anmeldetag: 18. Juni 2014
Veröffentlichung: 12. April 2017
Rechtsraum: EP
IPC: B24C1/00B05B12/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Cleanlogix LLC
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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