Selbstjustierte Interconnects und Zugehöriges Verfahren

EP3217425 Art B1 15. September 2021

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3217425
Aktenzeichen: EP17155000
Anmeldetag: 7. Februar 2017
Veröffentlichung: 15. September 2021
Erteilung: 15. September 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768// H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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