Betriebssteuerungsvorrichtung und Betriebssteuerungsverfahren für Vakuumpumpenanordnung
Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3388676
- Aktenzeichen
- EP18166827
- Anmeldetag
- 11. April 2018
- Veröffentlichung
- 4. November 2020
- Erteilung
- 4. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C25/02F04C28/06F04C28/28F04C23/00
Abstract
A vacuum pump that is more compact and lower in cost as compared with prior arts is provided. A vacuum pump assembly 1 includes a main pump 10 and a booster pump 20. Each of the pumps has an intake port 11a, 21a and an exhaust port 11b, 21b. The intake port 1 la of the main pump 10 intercommunicates with the exhaust port 21b of the booster pump 20. A switch receives a start instruction for starting the main pump 10. When the switch receives the start instruction and the main pump 10 starts, it is determined based on the start instruction whether the booster pump 20 is started, and the booster pump 20 is started.
Anmelder
- Firma
- Ebara Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Fachgebiete
Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.