Substratbehandlungsverfahren für Halbleiterbauelementeherstellung
EP3416183
Art B1
9. Juni 2021
Anmelder: NXP USA, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3416183
- Aktenzeichen
- EP18165916
- Anmeldetag
- 5. April 2018
- Veröffentlichung
- 9. Juni 2021
- Erteilung
- 9. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NXP USA, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
NXP USA
US-amerikanische Gesellschaft des Halbleiterkonzerns NXP, die Chips und Halbleiterlösungen für Automobiltechnik, Kommunikation und Industrieelektronik entwickelt.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Pomper, Till
NoneToulouse