Cmp-Verfahren zur Formung Glatte Diamantoberflächen
Anmelder: Entegris, Inc., University of Florida Research Foundation, Inc., Sinmat, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3444069
- Aktenzeichen
- EP18199494
- Anmeldetag
- 6. November 2013
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B29/02C09K3/14C09G1/02C30B29/04C30B33/00H01L21/321H01L21/306H01L21/311B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
University of Florida Research Foundation, Inc.
Sinmat, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Non-profit-Organisation der University of Florida (USA) zur Verwaltung und Vermarktung von Forschungsergebnissen und Patenten der Universität.
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Kilburn & Strode wurde 1906 in London gegründet und war die erste europäische Patent- und Markenkanzlei, deren Anwälte in Kalifornien als Foreign Legal Consultants zugelassen wurden. Präsenzen bestehen zudem in den Niederlanden, München sowie San Francisco und Boston.
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar