Verfahren und Vorrichtungen zum Verlängern einer Zeitspanne Bis zum Wechseln einer Messspitze eines Rastersondenmikroskops
EP3548902
Art A1
9. Oktober 2019
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3548902
- Aktenzeichen
- EP17811495
- Anmeldetag
- 23. November 2017
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01Q30/02G01Q70/00H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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