Verfahren und Metrologievorrichtung zur Bestimmung von Geschätzter Gestreuter Strahlungsintensität
EP3611568
Art A1
19. Februar 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3611568
- Aktenzeichen
- EP18189181
- Anmeldetag
- 15. August 2018
- Veröffentlichung
- 19. Februar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven