Verfahren und Vorrichtungen zur Entsorgung von Überschüssigem Material einer Fotolithografischen Maske
EP3655819
Art A1
27. Mai 2020
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3655819
- Aktenzeichen
- EP18746856
- Anmeldetag
- 17. Juli 2018
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/72G03F1/82
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Bardehle Pagenberg
Paris, Frankreich
Bardehle Pagenberg wurde 1979 in München gegründet und unterhält in Paris einen Standort nahe der Opéra Garnier. Dort verbindet die Kanzlei französische Avocats mit europäischen Patentanwälten, Schwerpunkte Life Sciences, Pharma und Chemie neben Mechanik und Telekommunikation, aktiv vor dem Einheitlichen Patentgericht.
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