Strahlungsquelle
EP3688530
Art B1
4. Oktober 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3688530
- Aktenzeichen
- EP18765017
- Anmeldetag
- 17. August 2018
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2023
- Erteilung
- 4. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/131G03F7/20G03F9/00G02F1/365
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoyng Rokh Monegier B.V
Hoyng Rokh Monegier B.V · Amsterdam
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven