Herstellungsverfahren für eine Mems-Vorrichtung

EP3786108 Art A1 3. März 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3786108
Aktenzeichen
EP19194601
Anmeldetag
30. August 2019
Veröffentlichung
3. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Imec VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB München, Deutschland

Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.

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