Metallunterstütztes Chemisches Ätzen zur Kanal- und Bitleitungsskalierung in einer 3D-Speichervorrichtung
EP3836194
Art A1
16. Juni 2021
Anmelder: Imec VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3836194
- Aktenzeichen
- EP19215992
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L27/11556H01L27/11582
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Imec VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
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